單壓電變形鏡

單壓電變形鏡由一層壓電材料驅動高平面度鏡面，具有大變形、高響應、低驅動電壓、高穩定性、定制化服務等特點。 通過獨創的偏置驅動技術可以在正向電壓下實現雙向像差校正，提升變形鏡的性能。

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該單壓電變形鏡由一層壓電材料驅動高平面度鏡面。通過獨創的偏置驅動技術在正向電壓下實現雙向的像差校正能力，提升了變形鏡性能。61（+1）單元變形鏡致動器分布如圖一所示，陰影部分為20mm有效校正口徑。受到固支邊界的約束，當62號環形電極施加電壓時，變形鏡產生一個整體的凹曲面；當內部61電極陣列電極（1-61號）施加電壓時，變形鏡產生凸曲面，當對環形電極和61單元電極陣列施加恰當的電壓時，兩者產生的變形效果相互抵消，在有效口徑內的鏡面為平面。根據這一原理，變形鏡初始工作狀態給內部61單元致動器陣列（用于像差校正）施加50V，62號環形電極（僅作偏置使用，不用于像差校正）施加約50 V工作電壓，此時鏡面基本平整，作為初始平面。在此平面上，61單元致動器在0-100V下工作即可等效為-50 V到50 V的變形，只用單極性電壓實現正負兩個方向的變形，滿足波前像差補償的要求。單極性電壓避免壓電陶瓷退極化，性能更穩定。實物照片如圖2所示。

變形鏡可在0 - 150 V電壓下工作（75 V作為初始電壓）獲得較大的變形量和校正幅值，但0 - 100V電壓（50V作為初始電壓）能夠滿足大部分應用場合，建議常規應用使用0 - 100 V工作電壓。

圖一      61（+1）單元20mm口徑變形鏡致動器分布圖

圖二     61（+1）單元變形鏡實物圖

• LD -DM61 - 15

變形鏡由一層壓電材料驅動高平面度鏡面。通過獨創的偏置驅動技術在正向電壓下實現雙向的像差校正能力，提升了變形鏡性能。61（+1）單元變形鏡致動器分布如圖三所示，陰影部分為15 mm有效校正口徑。受到固支邊界的約束，當 62號環形電極施加電壓時，變形鏡產生一個整體的凹曲面；當內部 61電極陣列電極（1-61 號）施加電壓時，變形鏡產生凸曲面，當對環形電極和 37 單元電極陣列施加恰當的電壓時，兩者產生的變形效果相互抵消，在有效口徑內的鏡面為平面。根據這一原理，變形鏡初始工作狀態給內部 61單元致動器陣列（用于像差校正）施加 50V ，62 號環形電極（僅作偏置使用，不用于像差校正）施加約 50 V工作電壓，此時鏡面基本平整，作為初始平面。在此平面上， 61 單元致動器在 0 - 100 V 下工作即可等效為-50 V 到 50 V 的變形，只用單極性電壓實現正負兩個方向的變形，滿足波前像差補償的要求。單極性電壓避免壓電陶瓷退極化，性能更穩定。實物照片如圖四所示，尺寸為 55 * 55 * 40 mm。

圖三   61（+1）單元15 mm變形鏡致動器分布圖

圖四    61（+1）單元變形鏡外觀尺寸：55 * 55 * 40 mm

產品技術參數

（產品可根據客戶需求接受定制）